SG-863XB晶圓檢測(cè)顯微鏡(研究級(jí))

一、產(chǎn)品用途

　  SG-863XB正置檢測(cè)顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)，比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡，都能有很好的成像效果。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。

2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。

3. 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。

4. WF10×/Φ25mm超大視野目鏡，長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。

三、技術(shù)規(guī)格

1. 光學(xué)系統(tǒng)：無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)

2. 觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?，瞳?0mm-75mm

3. 平場(chǎng)目鏡：WF10×/25mm

4. 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離金相物鏡

5. 轉(zhuǎn)換器：內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器

6. 工作臺(tái)尺寸：352mm×310mm，移動(dòng)范圍：250mm×250mm 

7. 調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸，范圍36mm，微動(dòng)0.002mm 

8. 光源：垂直照明，帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)

          透射光，12V100W鹵素?zé)粽彰?，亮度可調(diào)

9. 偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

10. 適配鏡：直徑59mm,放大倍率0.5倍  ，內(nèi)調(diào)焦距0～3mm  調(diào)焦后可鎖緊

11. 顯微鏡工業(yè)相機(jī)：圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬(wàn);芯片靶面：1/1.8"；像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024；G光靈敏度：0.15mv-425mv;曝光時(shí)間: 0.244ms-2s；光譜響應(yīng)范圍：380-650nm(有紅外截止濾光片情況下)；掃描方式:逐行掃描；快門(mén):電子快門(mén)；數(shù)據(jù)接口:USB3.0；白平衡:ROI 白平衡/手動(dòng)調(diào)整.

12. 軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對(duì)所攝圖像進(jìn)行文字編輯，比例尺顯示；超景深擴(kuò)展；長(zhǎng)度，角度，弧長(zhǎng)測(cè)量；點(diǎn)，線，平行線，垂直測(cè)量；圓、橢圓測(cè)量；矩形，不規(guī)則形狀的周長(zhǎng)、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。

四、標(biāo)準(zhǔn)配置

1. 檢測(cè)顯微鏡/1臺(tái)    

2. 觀察鏡筒/1只（在主機(jī)上）

3. 10×目鏡/1對(duì)（在主機(jī)上）   

4. 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離物鏡5×、10×、20×、50×、100×/各1只（在主機(jī)上）   

5. 0.5×專用適配鏡/1只

6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1只（630萬(wàn)）

7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1片

8. 移動(dòng)工作臺(tái)/1只（在主機(jī)上）

9. 12V100W鹵素?zé)?/span>/2只

10. 插板式濾色片（綠、蘭、中性）/1組

11. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說(shuō)明書(shū)/1份